工業顯微鏡作為精密光學儀器，其成像質量與使用壽命直接依賴于日常清潔的規范性。然而，操作中常存在兩大誤區：

過度清潔：頻繁擦拭物鏡導致鍍膜磨損，加速光學性能衰減；

清潔不當：使用普通棉布或腐蝕性溶劑，引發鏡片發霉、機械部件卡滯。

一、清潔前的準備工作：工具與環境控制

1. 專用工具清單

光學部件：軟毛刷（馬鬃材質）、壓縮空氣罐（無水無油）、專用擦鏡紙（如Mellanix品牌）、無水乙醇（分析純）、乙醚-酒精混合液（體積比1:1）；

機械部件：防靜電棉簽、納米級潤滑脂、高壓氣槍（配濾芯）；

防護用品：丁腈手套、防塵口罩、無塵布。

2. 環境要求

潔凈度：在超凈工作臺或無塵室操作，空氣中的顆粒物濃度需≤100級（ISO 14644-1標準）；

溫濕度：室溫控制在20±2℃，相對濕度40%-60%，避免鏡片結露或靜電吸附灰塵。

二、光學系統清潔：物鏡、目鏡與光源的精細化操作

1. 物鏡清潔流程

步驟1：用軟毛刷沿物鏡表面紋路輕掃，去除大顆粒灰塵（力度控制在0.5N以內）；

步驟2：壓縮空氣罐距物鏡10cm處呈45°角吹掃，清除殘留微塵；

步驟3：將擦鏡紙折疊為3-4層，蘸取少量混合液（以不滴落為準），從物鏡中心向外螺旋擦拭；

步驟4：用干燥擦鏡紙沿相同路徑收干殘留液體，避免水痕。

禁忌：

禁止使用普通紙巾或棉布，其纖維可能劃傷鍍膜；

避免直接向物鏡哈氣，唾液中的酸性物質會腐蝕鏡片。

2. 目鏡與分光棱鏡清潔

目鏡：旋下目鏡組，用防靜電棉簽蘸取乙醇輕擦鏡片邊緣，避免觸碰中心成像區域；

分光棱鏡：采用“干洗-濕洗”兩步法：先用軟毛刷清除松散污漬，再用棉簽蘸混合液單向擦拭（力度≤0.3N）。

3. 光源系統維護

鹵素燈：用無塵布包裹手指調整燈絲位置，避免直接觸碰玻璃外殼；

LED光源：每月用壓縮空氣吹掃散熱鰭片，防止灰塵積聚影響亮度穩定性。

三、機械系統清潔：載物臺、調焦機構與樣品夾的深度維護

1. 載物臺與樣品夾清潔

金屬載物臺：用防靜電棉簽蘸取乙醇擦拭導軌，重點清理樣品殘留物（如金屬碎屑、膠水）；

玻璃載物臺：采用“中性洗滌劑-清水-乙醇”三步法，避免堿性溶液腐蝕鍍層。

2. 調焦機構與齒輪組保養

粗調旋鈕：每周用高壓氣槍吹掃齒輪間隙，每季度加注納米級潤滑脂（用量≤0.1ml）；

微調旋鈕：每月用棉簽蘸取少量潤滑脂涂抹絲桿，防止銹蝕導致的行程卡滯。

3. 樣品夾與壓片裝置

彈簧夾片：用無水乙醇浸泡后軟毛刷清理，避免彈性失效；

真空吸附臺：檢查密封圈完整性，破損時及時更換（材質需兼容樣品類型，如橡膠圈禁用于有機溶劑環境）。

四、特殊場景清潔方案：從頑固污漬到J端環境應對

1. 頑固污漬處理

油性標記：用棉簽蘸取乙醚-酒精混合液敷貼5分鐘，再單向擦拭；

樹脂殘留：采用“冷凍-剝離”法：將載物臺置于-20℃環境10分鐘，待樹脂脆化后輕敲去除。

2. J端環境使用后維護

高溫環境：待設備自然冷卻至室溫后再清潔，避免熱脹冷縮導致結構變形；

粉塵環境：清潔后用離子風槍中和靜電，防止二次吸附。

3. 長期停用前的保存流程

光學部件：物鏡與目鏡單獨存放于干燥皿（相對濕度＜30%），加入硅膠干燥劑；

機械部件：調焦機構調整至中間行程，避免彈簧長期受力變形。

五、清潔后的檢測與校準：確保性能復原

1. 光學性能檢測

分辨率測試：使用標準測微尺（0.01mm刻度），在Z高放大倍數下驗證能否清晰分辨相鄰刻線；

像散校正：觀察星點板成像，調整光闌至各方向光斑對稱。

2. 機械性能校準

調焦精度：用千分表測量粗調旋鈕行程，誤差需＜0.05mm；

載物臺平行度：放置玻璃水平儀，調整螺絲使氣泡居中（傾斜度＜0.1°）。

工業顯微鏡的日常清潔并非簡單的擦拭動作，而是需要結合光學原理、材料特性與環境控制的系統性工程。通過實施“分級清潔-專用工具-環境控制-性能復檢”的全流程管理，可顯著延長設備壽命（平均延長3-5年），降低故障率（下降60%以上）。未來，隨著自清潔涂層與智能監測系統的應用，工業顯微鏡的維護將邁向“預測性清潔”的新階段。